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昊华气体获河南省沉大科技专项立项支持

功夫：2022-08-09 起源：昊华公司

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日前，河南省科技厅、财政厅颁布《关于2022年度河南省沉大科技专项立项的通知》，昊华气体结合申报的“集成电路用电子化学品关键技术钻研及产业化”获立项支持。

该项目对准集成电路造作用电子资料，发展硅基基础资料、电子气体和光刻胶中央体研发与产业化，助力我国在器件主题资料造作等领域实现突破。昊华气体承担该项目子课题“光电子级超纯氨的工艺钻研和产业化工作”。

河南省沉大科技专项聚焦国度沉大战术需要、河南省转型发展必要，沉点萦绕产业发展和服务民生公益的沉大关键主题技术，提质龙头骨干企业技术创新水平，支持产业升级发展。

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